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강자성층 사이에 초연자성 NiFeCuMo 중간층을 삽입한 3층 박막구조의 자기적 특성

한국자기학회지, Volume 20, Number 4, 31 Aug 2010, Pages 129-133
최종구 (상지대학교 대학원 동서의료공학과), 이상석 * (상지대학교 대학원 동서의료공학과, 상지대학교 보건과학대학 한방의료공학과)
Abstract

초연자성을 띠는 코네틱(Conetic; NiFeCuMo) 박막을 상호 중간층으로 강자성체인 CoFe 또는 NiFe 박막 사이에 삽입한 코닝 유리(Corning glass)/Ta(5 nm)/[CoFe or NiFe(5 nm-t/2)]/NiFeCuMo(t = 0, 4, 6, 8, 10 nm)/[CoFe or NiFe(5 nm-t/2)]/Ta(5 nm) 3층 박막구조에 대한 자기적 특성을 조사하였다. CoFe와 NiFe 박막의 자기적 특성은 박막의 두께에 따라 크게 결정되므로 자화곤란축과 자화 용이축으로 측정된 이방성 자기저항 곡선으로부터 얻은 보자력과 자화율을 각각 비교하였다. 특히 3층 박막구조에서 NiFe 박막 사이에 자유층으로 NiFeCuMo 박막을 삽입하면 높은 자기저항비를 유지하면서 향상된 자장감응도를 유지하는 고감도 바이오센서용 거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistive-spin valves; GMR-SV) 및 자기터널접합(magnetic tunnel junction; MTJ) 소자로 활용할 수 있다.

Two-layered ferromagnetic alloy films (NiFe, CoFe) with a Conetic (NiFeCuMo) intermediately soft magnetic layer of different thickness were investigated to correlate the coercivity values and magnetization process with the strength of saturation field of hard axis. Thickness dependence of the HEC (coercivity of easy axis), HHS (saturation field of hard axis.), and χ (susceptibility) of NiFe and NiFeCuMo thin films for the glass/Ta(5 nm)/[CoFe or NiFe(5 nm-t/2)]/NiFeCuMo(t = 0, 4, 6, 8, 10 nm)/[CoFe or NiFe(5 nm-t/2)]/
Ta(5 nm) films prepared by the ion beam deposition method was measured. The magnetic properties HEC, HHS, and χ of two-layered ferromagnetic CoFe, NiFe films with a NiFeCuMo intermediately super-soft magnetic layer were strongly depended on the thickness of NiFeCuMo layer. The value of the coercivity and magnetic susceptibility of the NiFeCuMo film decreased by 25% and doubled relative to that of the NiFe film.

 

Keywords: NiFeCuMo; 상호 중간층; 보자력; 곤란축 포화자기장; 자화율; NiFeCuMo; intermediate layer; coercivity; saturation magnetic field of hard axis; susceptibility
DOI: 10.4283/JKMS.2010.20.4.129