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IrMn 스핀밸브 박막소자의 폭 크기에 의존하는 자장감응도
NiFe/Cu/NiFe/IrMn 스핀밸브 박막에 대해 Cu의 두께에 의존하는 자장감응도를 조사하였다. Ta(5 nm)/NiFe(8 nm)/Cu(3.5 nm)/NiFe(4 nm)/IrMn(8 nm)/Ta(2.5 nm) 다층박막 구조에 대해 측정한 Minor 자기저항 곡선에서 자기저항비, 자장감응도, 보자력, 층간 상호교환결합력은 각각 1.46 %, 2.0 %/Oe, 2.6 Oe, 0.1 Oe 이었다. 광 리소그래피 공정으로 제작한 10가지 다른 폭 크기와 4.45 μm의 길이를 갖는 GMR-SV 소자의 자장감응도는 폭 크기가 10 μm에서 1 μm까지 작아짐에 따라 0.3 %/Oe에서 0.06 %/Oe로 감소하였다.
The Cu thickness dependence of magnetic sensitivity for the NiFe/Cu/NiFe/IrMn spin valve multilayer was investigated. The magnetic properties measured by minor MR curves for the Ta(5 nm)/NiFe(8 nm)/Cu(3.5 nm)/NiFe(4 nm)/IrMn(8 nm)/Ta(2.5 nm) multilayer is MR = 1.46 %, MS = 2.0 %/Oe, Hc = 2.6 Oe, and Hint= 0.1 Oe. The magnetic sensitivities of GMR-SV devices with ten different widths and a same length of 4.45 μm by fabricated by photo lithography decreased from 0.3 %/Oe to 0.06%/Oe as from a width of 10 μm to 1 μm.