Planar Hall Resistance(PHR) 센서의 2차 조화파 신호를 이용하여 비정질 CoFeB 박막의 투자율을 측정하였다. 10 Hz~50 kHz의 저주파수 대역에서 측정한 CoFeB 박막의 투자율은 주파수에 따라 일정한 값을 유지하였다. CoFeB 박막의 저주파수 투자율은 고주파수 투자율 측정 결과와 비교 분석하였다. 고주파수 투자율 분석 결과로부터 PHR 센서로 측정한 저주파수 투자율은 초기투자율과 일치함을 확인하였다. 따라서 PHR 센서는 자성 박막의 저주파수 투자율 측정기에 이용할 수 있다.

We measured the permeability of amorphous CoFeB thin film by using second harmonic signals of planner Hall resistance (PHR)sensor. The permeability of amorphous CoFeB thin film measured using PHR sensor was constant value in the low frequency range of 10 Hz~50 kHz. The measured high frequency permeability of amorphous CoFeB thin film was analyzed by complex permeability equation in order to compare with the low frequency permeability. We confirmed that the constant value of low frequency permeability was correspond to the initial permeability of amorphous CoFeB thin film. Thus the PHR sensor could be used to the low frequency permeameter.