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하지층 Cr의 스퍼터링 압력을 달리하여 제작한 Cr/CoSm/Cr 자성막의 자기상호작용이 자기역전부피에 끼치는 영향

한국자기학회지, Volume 28, Number 6, 31 Dec 2018, Pages 213-218
권해웅 (부경대학교 재료공학과), 정순영 * (경상대학교 자연과학대학 물리학과 및 기초과학 연구소), 김현수 * (경상대학교 자연과학대학 물리학과 및 기초과학 연구소)
Abstract
하지층 Cr의 스퍼터링 압력을 달리하여(7~10 mTorr) 제작한 Cr/CoSm/Cr 자성막의 자기상호작용이 자기역전부피에 끼치는 영향을 조사하였다. 연구에 사용된 모든 Cr/CoSm/Cr 자성막의 자기상호작용 기구는 쌍극자 상호작용이었으며, 낮은 스퍼터링 압력에서 제작한 시료일수록 쌍극자 상호작용이 더 강했다. 또한 각 시료의 최대 쌍극자 상호작용이 일어난 자기장(HΔM)은 보자력(Hc)보다 컸다. 자기역전부피는 쌍극자 상호작용이 강한 시료일수록 더 컸으며, 각 시료의 자기역전부피는 HΔM 영역에서 최대를 보이다가 더 큰 자기장 영역에서는 감소하는 경향을 보였다. 따라서 쌍극자 상호작용의 세기가 역전부피의 증감에 크게 관련되는 것으로 판단된다.

Magnetic interaction effects on the magnetic switching volume for Cr/CoSm/Cr magnetic films deposited with different sputtering pressures (7~10 mTorr) of underlayer (Cr) was investigated. The magnetic interaction mechanism of all the Cr/CoSm/Cr magnetic films investigated in this study was dipole interaction, and the dipole interaction was stronger at the samples fabricated at low sputtering pressure. The magnetic field (HΔM) at which the maximum dipole interaction occurred in each sample was larger than the coercivity (Hc). The magnetic switching volume was larger for the sample with stronger dipole interaction, and it showed maximum
value in the HΔM region and then decreased in higher field region above the HΔM. Therefore, it is considered that the intensity of the dipole interaction is closely related to the magnetic switching volume.

 
Keywords: 직류 마그네트론 스퍼터링; Cr 하지층과 보호층; CoSm 자성막; 쌍극자 상호작용; 비가역자화율; 자기모멘트 감쇠; 점성 계수; 자기역전부피; DC magnetron sputtering; Cr underlayer and capping layer; CoSm magnetic film; magnetic dipole interaction; irreversible susceptibility; magnetic moment decay; magnetic viscos
DOI: https://doi.org/10.4283/JKMS.2018.28.6.213