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Nb 버퍼층과 거대자기저항-스핀밸브 하이브리드 다층박막의 자기저항 특성

한국자기학회지, Volume 27, Number 3, 30 Jun 2017, Pages 82-86
양우일 (상지대학교 응용물리전자학과), 최종구 (상지대학교 한방의료공학과), 이상석 * (상지대학교 한방의료공학과)
Abstract
Corning glass 위에 형태별로 서로 다른 버퍼층(Ta, Nb, Nb3Al)을 삽입하여 IrMn을 기반으로 한 거대자기저항-스핀밸브(GMRSV) 다층박막을 이온빔 증착 시스템과 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 제조하였다. 버퍼층이 다른 3가지 형태의 GMR-SV 다층박막 구조에 대해 열처리 전에 측정한 major 및 minor 자기저항(MR) 곡선에서 나타난 자기저항 특성은 형태별로 서로 다른 결과를 보여주었다. 3가지 형태의 GMR-SV 다층박막을 진공 상태에서 250 oC로 열처리 한 결과, 고정층의 교환결합세기를 제외한 모든 자기저항 특성이 대체적으로 향상되었다.

The IrMn based GMR-SV films with three different buffer layers were prepared on Corning glass by using ion beam deposition and DC magnetron sputtering method. The major and minor magnetoresistance curves for three different buffer layers beneath the structure of NiFe(15 nm)/CoFe(5 nm)/Cu(2.5 nm)/CoFe(5 nm)/NiFe(7 nm)/IrMn(10 nm)/Ta(5 nm) at room temperature have shown different magnetoresistance properties. When the samples were annealed at 250 oC in vacuum, the magnetoresistance ratio, the
coercivity of pinned ferromagnetic layer, and the interlayer coupling field of free ferromagnetic layer were enhanced while the exchange bias coupling field did not show noticeable changes.
Keywords: 버퍼층; 강자성체; 하이브리드; 거대자기저항; 교환결합세기; buffer layer; ferromagnet; hybrid; giant magnetoresistance (GMR); exchange coupling
DOI: https://doi.org/10.4283/JKMS.2017.27.3.082